問題詳情
四、
⑴對波長為 193 nm 的準分子雷射光學系統而言，若其具有數值孔徑 NA = 0.65，製程相依因子 k1 = 0.6 及 k2 = 0.5，以此光學系統作為曝光機台的理論解析度及聚焦深度各為多少值？（10 分）
⑴對波長為 193 nm 的準分子雷射光學系統而言，若其具有數值孔徑 NA = 0.65，製程相依因子 k1 = 0.6 及 k2 = 0.5，以此光學系統作為曝光機台的理論解析度及聚焦深度各為多少值？（10 分）
參考答案
答案：D
難度：非常簡單0.936814
統計：A(47),B(130),C(151),D(4863),E(0) #
個人：尚未作答書單：第一章 行政的概念與種類、私經濟行政
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