問題詳情
⑵為何在沉積多晶矽薄膜時，所使用之氣體源多為矽甲烷而非矽氯化物？（5 分）
參考答案
答案：C
難度：簡單0.767212
統計：A(9),B(32),C(2485),D(472),E(0) #
個人：尚未作答書單：釋字525的信賴保護原則爭點
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