問題詳情
五、一片 6"晶圓被帶雙電子之離子以 1013 ions/cm2植入 1 分鐘，請問需多少beam current？（10 分）
參考答案
答案：A
難度：適中0.642458
統計：A(115),B(16),C(9),D(3),E(0)
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