問題詳情
四、請說明晶圓先烘烤（prebake），光阻軟烤（soft-bake）與光阻硬烤（hard-bake）之功能為何？（9 分）
參考答案
答案：B
難度：適中0.440559
統計：A(2),B(252),C(248),D(3),E(0)
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