問題詳情
五、從下表之<100>Ｓi 於 TMAH 之蝕刻速率，求其蝕刻之活化能（activation energy）。（10 分） 
參考答案
答案：B
難度：適中0.675591
統計：A(51),B(429),C(130),D(25),E(0)
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