問題詳情
五、⑴在黃光室的微影製程中，對於光阻有所謂的軟烤（Soft-Bake）與硬烤（Hard-Bake），請說明它們的功能各為何？使用溫度範圍各為何？
參考答案
答案：C
難度：適中0.522991
統計：A(302),B(419),C(1126),D(65),E(0)
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