問題詳情
⑵若只有XeF2之蝕刻速率為Ra，只有Ar氣體時之蝕刻速率為Rb，請問Ra+Rb速率和與R何者較大？請說明理由。（10 分）
參考答案
答案：C
難度：非常簡單0.90495
統計：A(5),B(3),C(457),D(1),E(3)
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