問題詳情

⑵使用乾氧化法生長二氧化矽膜,初期生長之膜厚與時間之關係為何?在二氧化矽膜初期生長時,(111)或(100)之矽晶圓上之生長速率何者較高?(8 分)

參考答案

答案:C
難度:適中0.572374
統計:A(266),B(64),C(692),D(187),E(0)

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