問題詳情

三、在製造複晶矽薄膜電晶體(Polycrystal silicon thin film transistors)時,往往強調以低溫製程將非晶矽(Amorphous silicon)結晶成複晶矽,請說明低溫的製程方法及原理,為何須低溫製程呢?(20 分)

參考答案

答案:C
難度:適中0.464865
統計:A(11),B(72),C(86),D(16),E(0)

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