問題詳情
⑵請分別說明矽薄膜之生成速率隨 SiClH2 與 Cl2 分壓之變化關係。（6 分）
參考答案
答案：D
難度：非常簡單0.932027
統計：A(223),B(21),C(80),D(4470),E(2)
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