問題詳情
100. 半導體製程中常需用到高純度化學品,以供洗淨、蝕刻、濺鍍、熱氧化、離子注入等程序之用,下列何種化學品可被用於蝕刻的製程上
(A)NH4OH
(B)H2O2
(C)AsF5
(D)HF。
(A)NH4OH
(B)H2O2
(C)AsF5
(D)HF。
參考答案
答案:D
難度:適中0.5
統計:A(0),B(0),C(0),D(0),E(0)
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