問題詳情
三、Si 於電漿中被蝕刻是根據以下之反應：Si(s) + 2Cl2(g) → SiCl4(g)。若通入氯氣流量為 100 sccm，請問理論之 200 mm 直徑之矽晶圓最大蝕刻率為多少？（Si atom weight: 28.09，Density: 2.329 g/cm3）（15 分）
參考答案
答案：D
難度：簡單0.807018
統計：A(88),B(36),C(19),D(598),E(0)
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