問題詳情
三、矽（Si）基板表面上有 2μm的二氧化矽（SiO2）要被蝕刻，二氧化矽的蝕刻速率是0.8μm/min，二氧化矽對矽的蝕刻選擇比（Selectivity）為 25 比 1，如果三分鐘後停止蝕刻，試問會有多少下層的矽被蝕刻掉？（20 分）
參考答案
答案：C
難度：非常簡單0.925432
統計：A(29),B(175),C(4927),D(192),E(1) #
個人：尚未作答書單：特別權力關係特徵、特別權力關係
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