問題詳情
四、回答下列問題：（每小題 10 分，共 40 分）
⑴一般清洗矽晶圓，都採用 RCA cleans 方式，請說明什麼是 RCA cleans？
⑴一般清洗矽晶圓，都採用 RCA cleans 方式，請說明什麼是 RCA cleans？
參考答案
答案：A
難度：適中0.536
統計：A(67),B(27),C(10),D(7),E(0)
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