問題詳情
五、四氫化矽（SiH4）經化學氣相蒸鍍反應，可在矽種晶上生長為矽粒，其反應速率式為 r" = k"CSiH4，k" = 10 cm/min。假設矽粒形狀為球體，矽密度為 2.33 g/cm3，分子量為 32，請問在 T = 200℃和 PSiH4 = 0.1 atm 反應條件下，矽粒由 2µm 成長至 15µm需要多少時間？（20 分）
參考答案
無參考答案
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