問題詳情

六、離子佈植機(ion implanter)又稱為離子注入機,其可將能量為數萬電子伏(數十keV)至數十萬電子伏(數百 keV)的離子植入固體表面的設備,常用於半導體產業界。請敘述離子佈植機的輻射防護。(10 分)

參考答案

答案:C
難度:適中0.673077
統計:A(7),B(68),C(175),D(10),E(0)

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