問題詳情
一、化學氣相沉積（CVD）製程操作於表面反應受限區（surface-reaction-limited regime），已知波茲曼常數 k = 1.38 × 10-23 J/K，e = 1.6 × 10-19 C，假設先導物（precursor）濃度不變，請求出：（每小題 10 分，共 20 分）
⑴反應速率活化能 Ea = 0.5 eV 固定，T = 450 K 之反應速率為 T = 400 K 之幾倍？
⑴反應速率活化能 Ea = 0.5 eV 固定，T = 450 K 之反應速率為 T = 400 K 之幾倍？
參考答案
答案：D
難度：簡單0.720752
統計：A(143),B(52),C(40),D(844),E(0)
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