問題詳情
五、若以 SiO2 為遮罩材料（開口尺寸為 3 μm × 3 μm ）並採用 KOH 溶液分別蝕刻（100）與（
）晶面矽基板。
⑴請繪出蝕刻深度為 0.707 μm 時所得蝕刻圖形的剖面圖（須標示蝕刻圖形之尺寸、蝕刻面及角度）（15 分）。
）晶面矽基板。⑴請繪出蝕刻深度為 0.707 μm 時所得蝕刻圖形的剖面圖（須標示蝕刻圖形之尺寸、蝕刻面及角度）（15 分）。
參考答案
答案：C
難度：適中0.670835
統計：A(108),B(240),C(1502),D(132),E(0) #
個人：尚未作答書單：視障定義、特殊教育法、身障類別及其特徵
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