問題詳情

六、在電漿(plasma)應用製程中,兩電極間加上 RF,因電子移動速度較離子快,會形成電漿電位(plasma potential)VP,令電漿相對 RF 電極之直流壓降(DC bias)為Vx,相對接地電極之直流壓降為 Vy,RF 電極面積為 Ax,接地電極面積為 Ay,其中 Ay = n Ax,關係式為 Vx/Vy = n4。已知兩電極間之自偏壓(self-bias)為 Vy 的1.25 倍,VP = 20 V,請求出:
⑴ n =?(8 分)

參考答案

無參考答案

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