問題詳情
一、在熱生長SiO2機制中，SiO2厚度X與生長時間t之關係式為X2+AX=B(t+τ)，其中τ為t = 0時初始厚度Xo所需之相對應生長時間，已知A = 0.1 μm，B = 0.01 μm2/hr，Xo = 0.01μm，請求出再生長 2 hr後之總氧化層厚度為多少？（20 分）
參考答案
答案：D
難度：適中0.592173
統計：A(380),B(9),C(7),D(575),E(0)
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