問題詳情
五、請繪圖說明薄膜沈積的 sidewall step coverage 和 bottom step coverage 的定義，並簡單解釋這兩個值通常小於 1 的原因。（15 分）
參考答案
答案：D
難度：簡單0.847985
統計：A(23),B(11),C(95),D(1389),E(1)
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