問題詳情

九、在標準狀況(壓力為 1 atm,溫度為 0℃)下的電漿蝕刻過程中,反應氣體以 10 c.c./秒的速率流入 100 公升的反應腔室中,產生的穩態壓力為 0.2 托(torr),
(一)計算抽氣泵(pump)的抽氣速率(以單位為 atm/sec 表示)?(10 分)

參考答案

無參考答案

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