問題詳情
六、光學微影製程的解析度和焦距深度都和數值孔徑（Numerical aperture）有關，請以圖示說明當數值孔徑增大時，解析度變好但是焦距深度變差的原因。（20 分）
參考答案
答案：D
難度：簡單0.837611
統計：A(83),B(473),C(102),D(3394),E(0)
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