問題詳情
四、
有一種使用 TEOS（tetraethyl orthosilicate）為原料的電漿加強式化學氣相沉積（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）技術成長二氧化矽（SiO2）薄膜，請說明這種方法有什麼優點？（10 分）
有一種使用 TEOS（tetraethyl orthosilicate）為原料的電漿加強式化學氣相沉積（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）技術成長二氧化矽（SiO2）薄膜，請說明這種方法有什麼優點？（10 分）
參考答案
答案：A
難度：適中0.541504
統計：A(1944),B(685),C(348),D(183),E(0)
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