問題詳情
六、Si 的 SiO2 熱成長可用 Deal-Grove 模型來描述：tox2 + A tox = Bt，公式中 tox 為氧化層厚度、t 為氧化時間、A 與 B 為相關之參數。以 1000˚C 做乾氧成長時，A = 0.165 μm、B = 0.0117 μm2/hr。成長 10 小時，問 SiO2 的厚度。若 tox>>A，證明 SiO2 的成長速率與 tox 成反比，並說明其物理意義。（15 分）
參考答案
答案：B
難度：簡單0.816564
統計：A(40),B(1193),C(167),D(27),E(0)
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